




昆山金斗云测控设备有限公司(goc)是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。
瑞典vmi viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题
光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种,精度为七纳米至几微米之间,光刻机是上精密的仪器,对振动的要求非常高。瑞典vmi viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为vc微振动标准,vc微振动标准分为:vc-a、 vc-b、 vc-c、 vc-d、 vc-e、 vc-f、vc-g。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足cv-d 6.25um/s rms以下。全球名的光刻机制造商荷兰asml要求洁净室的楼板及机台振动必须符合vc-d标准才能实施装机,某名半导体制造商使用瑞典vmi viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集,发现洁净室楼板的振幅只能满足vc-c12.5um/s rms,无法满足cv-d 6.25um/s rms。通过瑞典vmi viber-x5振动分析仪的频谱分析功能,发现了振动超标的频率并成功找到振动源,齿轮箱振动分析服务,经过瑞典vmi振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

昆山金斗云测控设备有限公司(goc)是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。
瑞典vmi振动分析仪viber x5规格说明:
常规功能
停机测试
停机程序用来分析当机器的转速逐渐降低的过程中,例如停机时可测量机器的共振和临界转速。仪器以两个绘图显示该测量,振幅和相位随机器转速变化的曲线。
vibshape
这是一个 ods 动画模块,主要用于分析设备结构的变形共振等结构性的振动,通过 ods 动画的方式呈现出来,便于振动分析师快速且准确的提交解决方案。

昆山金斗云测控设备有限公司(goc)是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。
mcsa:(电动机电流特征分析)如电机的三项不平衡,转子条松动,气隙不均等电气故障。
互谱(相对相位): 这个应用程序是相位测量的延伸,交叉相位可以测量出两个振动传感器之间的相位,而不需要转速计。
敲击测试:这个应用程序帮助你找出当机器停止运转---器的共振频率。
电流环路:此功能主要用于与已安装的 4-20ma 的回路电源监控系统的兼容。
自动诊断:此功能只需设置相关参数即可分析设备不平衡、不对中、油膜振荡、电气故障、游隙过大、压力脉冲、气穴、轴承、齿轮故障等。
南通齿轮箱振动分析服务-昆山金斗云测控(图)由昆山金斗云测控设备有限公司提供。昆山金斗云测控设备有限公司在技术合作这一领域倾注了诸多的热忱和热情,金斗云测控一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场,衷心希望能与社会各界合作,共创成功,共创。相关业务欢迎垂询,联系人:韩建明。
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