viber x5振动分析服务-昆山金斗云测控设备

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    2023-11-28

韩建明
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昆山金斗云测控设备有限公司(goc)是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。


瑞典vmi viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种,精度为七纳米至几微米之间,viber x5振动分析服务,光刻机是上精密的仪器,对振动的要求非常高。瑞典vmi viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为vc微振动标准,vc微振动标准分为:vc-a、 vc-b、 vc-c、 vc-d、 vc-e、 vc-f、vc-g。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足cv-d 6.25um/s rms以下。名的光刻机制造商荷兰asml要求洁净室的楼板及机台振动必须符合vc-d标准才能实施装机,某名半导体制造商使用瑞典vmi viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集,发现洁净室楼板的振幅只能满足vc-c12.5um/s rms,无法满足cv-d 6.25um/s rms。通过瑞典vmi viber-x5振动分析仪的频谱分析功能,发现了振动超标的频率并成功找到振动源,经过瑞典vmi振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。







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瑞典vmi viber x5振动分析仪可实现:

热成像 启机  包络测量    转速    轴心轨迹(xy 图)

总值测量    过程    长时间数据采集

轴承状态    相位    同步平均采集

停机    敲击测试 回路测试 mcsa(电机电流特征分析)

---ysis(自动诊断)动平衡校正 模态分析 等功能

帮您轻松解决离心式除尘器各种振动问题







昆山金斗云测控设备有限公司(goc)是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。


瑞典vmi viber x5振动分析仪帮您解决离心式除尘器转动问题

离心式除尘器是工业中应用比较广泛的除尘设备之一,多作为小型燃煤锅炉消烟除尘和多级除尘、预除尘的设备。振动是所有转动设备的都会有的问题,振动会引起设备的零部件的疲劳损坏,影响设备的寿命。那么,离心式除尘器的振动问题怎么解决?







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