金斗云测控-苏州齿轮箱振动分析服务

昆山金斗云测控设备有限公司（goc）是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典vmi viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，精度为七纳米至几微米之间，光刻机是上精密的仪器，对振动的要求非常高。瑞典vmi viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为vc微振动标准，vc微振动标准分为：vc-a、 vc-b、 vc-c、 vc-d、 vc-e、 vc-f、vc-g。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足cv-d 6.25um/s rms以下。名的光刻机制造商荷兰asml要求洁净室的楼板及机台振动必须符合vc-d标准才能实施装机，某名半导体制造商使用瑞典vmi viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足vc-c12.5um/s rms，无法满足cv-d 6.25um/s rms。通过瑞典vmi viber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动超标的频率并成功找到振动源，经过瑞典vmi振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

昆山金斗云测控设备有限公司（goc）是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

vmi及授权对于因使用viber x5 ⅲ tm仪器时所发生之设备及工安事故不负保障责任。

即使尽大努力针对使用者提供完善的操作功能，齿轮箱振动分析服务，仍可能会存在些微资料遗漏情况；有鉴于此，我们会更进一步持续更改及修正更完善的操作功能项目说明，---viber x5 ⅲ tm 仪器准确度以符合广大使用者的需求。