压缩机电机振动分析好不好-金斗云测控-压缩机电机振动分析

昆山金斗云测控设备有限公司（goc）是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典vmi viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，精度为七纳米至几微米之间，光刻机是上精密的仪器，压缩机电机振动分析厂商，对振动的要求非常高。瑞典vmi viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为vc微振动标准，vc微振动标准分为：vc-a、 vc-b、 vc-c、 vc-d、 vc-e、 vc-f、vc-g。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足cv-d 6.25um/s rms以下。名的光刻机制造商荷兰asml要求洁净室的楼板及机台振动必须符合vc-d标准才能实施装机，某名半导体制造商使用瑞典vmi viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足vc-c12.5um/s rms，压缩机电机振动分析，无法满足cv-d 6.25um/s rms。通过瑞典vmi viber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动超标的频率并成功找到振动源，经过瑞典vmi振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

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瑞典vmi viber x5振动分析仪应用于地面振动检测

许多工厂都有激光设备，例如芯片厂的光刻机等等。激光设备对振动非常敏感，因此对放置激光设备的地面振动要求非常高。通常我们会用地面微振动标准来判断放置激光设备的地面振动是否符合微振动标准。瑞典vmi viber x5振动分析仪精度---0.001μm/s 轻松检测地面微振动。

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